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A530氦质谱检漏仪
A530氦质谱检漏仪图片
型号: A530
产地: 合肥
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型号:A530
产地:合肥
仪器产地:国产氦质谱检漏仪
最小可检漏率:5×10-13Pa·m3/s
漏率显示范围:1×10-3~1×10-13Pa·m3/s
检漏口的最高压力:1500Pa
启动时间:≤2min
响应时间:<0.5s
产品介绍

A530 移动式氦质谱检漏仪(Helium Mass Spectrometer Leak Detector),是一款大抽速(前级泵抽速30 m3/h),低维护、高灵敏度、操作便捷的干泵检漏仪。A530 氦质谱检漏仪轻松检漏,使您放心得到快速准确可靠的测试结果。产品广泛应用于科研院所、航空航天、半导体、半导体气柜,光伏等行业。

功能特点

大抽速前级泵,工作效率高

支持正压检漏,负压检漏

优化设计的质谱系统和智能算法确保在所有量程快速响应

自动跟踪本底功能,提供快速可靠的测量结果

高可靠性的真空系统和质谱系统确保快速清氦

机器卓越的性能支持7*24 小时长时间在线测试

双铱丝离子源,系统设计有效的防大气冲击功能

配有检漏口精细过滤器,过滤细微杂质,确保机器不受杂质影响和损伤

支持氮气破空,不受环境氦气干扰,快速降低本底有可便捷更换过滤器

指标:

最小可检漏率:5×10-13Pa·m3/s

漏率显示范围:1×10-31×10-13Pa·m3/s

启动时间:2min

响应时间:<0.5s

检漏口最高工作压:1500Pa

前级泵抽速:30m3/h

配置

德国普发分子泵,

涡旋干泵,30 m3/h

德国宝帝电磁阀

歌博氦质谱分析模块(双铱带离子源)

标准漏孔10-8 Pa·m3/s


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